Polycrystalline silicon for integrated circuit applications

by Ted Kamins
Bok · Språk ikke angitt · 1988

Utgitt	Boston : Kluwer , c1988
Omfang	xii, 290 s. : ill.
Emner	Integrated circuits - Materials. Silicon - Electric properties. Halvlederkomponenter Silisium - Elektriske egenskaper
ISBN	0898382599