Sputtering by particle bombardment. 3. Characteristics of sputtered particles, technical applications
Bok Engelsk 1991
Utgitt | Berlin : Springer-Verlag , c1991
|
---|---|
Omfang | XIII, 410 s.
|
Emner | |
ISBN | 0387534288. - 3540534288
|
Utgitt | Berlin : Springer-Verlag , c1991
|
---|---|
Omfang | XIII, 410 s.
|
Emner | |
ISBN | 0387534288. - 3540534288
|