Thin film metallurgy for microelectronics : physical and technical studies of Si-metal reactions

Søk kun i bestemt felt Avgrens på brukernivå barn, voksen osv

Avgrens på format. (Bok, DVD, Lydbok, etc.) Avgrens på språk

Fra år

Til år


Utgitt	Linköping : Department of Physics and Measurement Technology, University of Linköping , 1990
Omfang	112 s. : ill.
Opplysninger	Avh. (tekn. dr.) - Tekniska högskolan i Linköping, 1990.
Emner	Tynnfilmteknikk tynnfilm-metallurgi mikroelektronikk silisium
ISBN	9178705894

Biblioteksøk