Wafer bonding for MEMS
by Maaike M. Visser Taklo
Bok Engelsk 2002 Maaike Visser
| Utgitt | [Oslo] : Department of Physics, University of Oslo : Unipub , 2002
|
|---|---|
| Omfang | 1 b. (flere pag.) : ill.
|
| Opplysninger | Delvis opptrykk av artikler. - Avhandling (dr. scient.) - Universitetet i Oslo, 2002
|
| Emner | Fysikk
Mikroteknologi Nanoteknologi Optimering Vis mer... Fysikk((NO-TrBIB)REAL003067)
Mikroteknologi((NO-TrBIB)REAL007706) Nanoteknologi((NO-TrBIB)REAL012457) Optimering((NO-TrBIB)REAL006138) doktoravhandlinger fysikk skivebonding laminering mikroteknologi nanoteknologi prosesstrinn optimalisering ruhet |
| Dewey |
