Forbedringer i planarprosessen

D. J. Ruzicka m.fl.
Bok · Bokmål · 1980

Utgitt	Oslo : Sentralinstitutt for industriell forskning , 1980
Omfang	70 bl. : ill.
Emner	Mikroelektronikk - Fotolitografi
Dewey	621.381
ISBN	8272671697 : Nkr 50.00