CMOS - MEMS

volume editors: O. Brand and G.K. Fedder
Bok · Engelsk · 2005

Utgitt	Weinheim : Wiley-VCH , c2005
Omfang	XIV, 594 s.
Emner	CMOS : (NO-TrBIB)REAL001665 CMOS-teknikk MEMS Mikro- og nanoelektromekaniske systemer : (NO-TrBIB)REAL013945 Mikroelektromekaniske systemer
ISBN	3527310800. - 9783527310807