MEMS mechanical sensors

Stephen Beeby ... [et al.]
Bok · Engelsk · 2004

Utgitt	Boston : Artech House , c2004
Omfang	X, 269 s. : ill.
Emner	Detectors Microelectromechanical systems MEMS - Måleteknikk Mikro- og nanoelektromekaniske systemer : (NO-TrBIB)REAL013945 Vis mer... Mikroelektromekaniske systemer Sensorer
ISBN	1580535364