Post-processing techniques for integrated MEMS
Sherif Sedky
Bok Engelsk 2006
Utgitt | Boston : Artech House , c2006
|
---|---|
Omfang | XIV, 207 s. : ill.
|
Emner | |
ISBN | 1580539017
|
Utgitt | Boston : Artech House , c2006
|
---|---|
Omfang | XIV, 207 s. : ill.
|
Emner | |
ISBN | 1580539017
|