Handbook of wafer bonding

edited by Peter Ramm, James Jian-Qiang Lu, and Maaike M.V. Taklo
Bok · Engelsk · 2012

Utgitt	Weinheim : Wiley-VCH , c2012
Omfang	XXXI, 395 s. : ill.
Emner	halvledere mems
Dewey	621.38152
ISBN	9783527326464