Reactive sputtering of cubic-phase BN:C and nanostructured B-N-C films : growth, microstructure, and mechanical properties


Mats P. Johansson
Bok Engelsk 1998
Utgitt
Linköping : Department of Physics and Measurement Technology, Linköping University , 1998
Omfang
162 s. : ill.
Opplysninger
Avhandling (tekn. dr.) - Linköpings tekniska högskola, 1998.
Emner
Tynnfilmteknikk
bornitrid-karbon
ISBN
9172193530

Bibliotek som har denne