Design, process integration, and characterization for microelectronics : 6-7 March 2002, Santa Clara, USA
·
Alexander Starikov, Kenneth W. Tobin, Jr., chairs/editors ; sponsored and published by SPIE - the International Society for Optical Engineering
Bok
·
Engelsk
·2002
Detaljer
Utgitt
Bellingham, Wash. : SPIE , c2002
Omfang
XV, 628 s. : ill.
ISBN
0819444391
Bibliotek som har denne
NTNU Universitetsbiblioteket: Teknologibiblioteket har 0 av 0 ledig (Oppdaterer)