Process and materials characterization and diagnostics in IC manufacturing : 27-28 February 2003, Santa Clara, California, USA
·
Kenneth W. Tobin, Jr., Iraj Emami, chairs/editors ; sponsored and published by SPIE - the International Society for Optical Engineering
Bok
·
Engelsk
·2003
Detaljer
Utgitt
Bellingham, Wash. : SPIE , c2003
Omfang
X, 222 s. : ill.
ISBN
081944846X
Bibliotek som har denne
NTNU Universitetsbiblioteket: Teknologibiblioteket har 0 av 0 ledig (Oppdaterer)