Laser processing of thin films and microstructures : oxidation, deposition and etching of insulators
Ian W. Boyd
Bok Språk ikke angitt 1987 I.W. Boyd
Utgitt | Berlin : Springer , c1987
|
---|---|
Omfang | VIII, 320 s. : ill.
|
Emner | |
ISBN | 0387179518. - 3540179518
|
Utgitt | Berlin : Springer , c1987
|
---|---|
Omfang | VIII, 320 s. : ill.
|
Emner | |
ISBN | 0387179518. - 3540179518
|