Semiconductor lithography : principles, practices, and materials

Wayne M. Moreau
Bok · Engelsk · 1988

Utgitt	New York : Plenum Press , c1988
Omfang	xx, 931 s. : ill.
Emner	Microlithography Photoresists Semiconductors Halvledere Vis mer... Kretser halvledere integrerte kretser litografi
ISBN	0306421852