Einführende Beiträge zur Mikrolithografie : Tagungsband der Frühjahrsschule "Elektronenlithografie"
veranstaltet von der AG Technikum der Sektion Physik der Friedrich-Schiller-Universität Jena in Meuselbach 1981 ; [verantwortlicher Bearbeiter, Peter Pertsch]
Bok Språk ikke angitt 1982
| Utgitt | Jena : Friedrich-Schiller-Universität , 1982
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| Omfang | 232 s. : ill.
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| Emner |
