Characterisation of crystalline silicon for micromachining : in situ measurements of silicon etch ra - detaljert visning

Characterisation of crystalline silicon for micromachining : in situ measurements of silicon etch rates, temperature dependence of the elastic constants of silicon

Elin Steinsland
Bok Engelsk 1998


Utgitt	[Oslo] : Department of Physics, University of Oslo , 1998
Omfang	1 b. (flere pag.) : ill.
Opplysninger	Delvis opptrykk av artikler. - Avhandling (dr. scient.) - Universitetet i Oslo, 1998. - Elektronisk reproduksjon
Emner	Elektronikk Etsing Nanoteknologi Silisium krystallinsk silisium etsing mikroelektronikk nanoteknologi avhandlinger
Dewey	620.19