Tribology in chemical-mechanical planarization


Hong Liang, David Craven
Bok Engelsk 2005
Utgitt
Boca Raton, Fla. : Taylor & Francis , 2005
Omfang
185 s. : ill.
Opplysninger
"A CRC Press book" - Bokryggen
Emner
ISBN
0824725670. - 9780824725679

Bibliotek som har denne