Tribology in chemical-mechanical planarization
Hong Liang, David Craven
Bok Engelsk 2005
Utgitt | Boca Raton, Fla. : Taylor & Francis , 2005
|
---|---|
Omfang | 185 s. : ill.
|
Opplysninger | "A CRC Press book" - Bokryggen
|
Emner | |
ISBN | 0824725670. - 9780824725679
|
Utgitt | Boca Raton, Fla. : Taylor & Francis , 2005
|
---|---|
Omfang | 185 s. : ill.
|
Opplysninger | "A CRC Press book" - Bokryggen
|
Emner | |
ISBN | 0824725670. - 9780824725679
|